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荷蘭OKO薄膜變形鏡,MMDM變形鏡、PDM變形鏡、波前傳感器自適應(yīng)光學(xué)器件 17-ch 15-mm micromachined membrane DM with tip-tilt stage 38通道 50mm口徑壓電變形鏡(PDM)荷蘭OKO公司38通道50mm口徑壓電變形鏡(PDM)。該變形鏡包含38個柱狀壓電執(zhí)行器。這些執(zhí)行器底部固定在基座上,頂部與鏡面連接固定。鏡面涂有反射層,可產(chǎn)生較高的反射率。鏡面形狀由執(zhí)行器的控制電壓來決定。變形鏡外殼背面有一個圓形開口,可以讓殘余激光穿過變形鏡而不影響設(shè)備內(nèi)部正常使用。 該裝置可用于激光、望遠鏡、眼科學(xué)、顯微鏡和一般成像光學(xué)中的光學(xué)像差(如離焦、像散、彗差等)快速動態(tài)校正。 該變形鏡初始面形為略微彎曲的球面。這個彎曲球面是由鏡面涂層中的應(yīng)力引起的。它不會影響鏡面的參數(shù),但是,在將變形鏡并入光學(xué)系統(tǒng)時應(yīng)予以考慮。當系統(tǒng)閉環(huán)運行時,可通過主動“校平”消除該初始面形,使該變形鏡面形變成一個平面或任意曲面。 由于執(zhí)行器的遲滯效應(yīng),在PDM使用過程中,初始像差可能會發(fā)生變化并與參考球面的偏差更大。這種偏差是執(zhí)行器的響應(yīng)函數(shù)疊加的緣故,在閉環(huán)控制的系統(tǒng)中基本無影響,但可能會略微降低校正范圍。
79通道微機械 薄膜變形鏡 (MMDM 30mm)荷蘭OKO公司推出了一款微機械薄膜變形鏡(MMDM),具有 79 通道,鏡面直徑為30mm 。具有新穎的致動器幾何形狀,可以準確地近似多個低階Zernike模式,達到優(yōu)異的波前校正效果。 微機械薄膜變形鏡(MMDM)荷蘭OKO薄膜變形鏡,MMDM變形鏡、PDM變形鏡、Shack-Hartmann波前傳感器等自適應(yīng)光學(xué)器件 薄膜變形鏡一般采用金屬薄膜作為鏡面材料,通過微機械加工(MEMS)工藝制成,因此又稱MEMS變形鏡。 薄膜的邊緣固定在周圍的框架結(jié)構(gòu)上,薄膜下方有控制電極。 工作原理: 當在薄膜下方的電極上施加電壓時,電極和薄膜之間產(chǎn)生靜電吸引(eletrostatic attraction),從而導(dǎo)致薄膜發(fā)生形變。 如果在所有的電極上施加相同的電壓,則薄膜會產(chǎn)生球形的形變(球形凹陷)。 在不同的電極上施加不同電壓(即不同的電壓組合),則可以使薄膜產(chǎn)生不同的形變。 偏置控制(雙向變形): 由于電極與薄膜之間只存在吸引力而不能產(chǎn)生排斥力,因此薄膜只能朝著電極的方向產(chǎn)生形變(即凹面形變),而不能產(chǎn)生凸面形變。 在實際使用過程中,為了使薄膜產(chǎn)生雙向變形(能凹能凸),通常在校準光路的時候給變形鏡先施加一個偏置電壓(如下圖所示),使變形鏡產(chǎn)生偏置形變,這樣變形鏡就可以此為基礎(chǔ)產(chǎn)生凹凸變形。 控制精度: 薄膜變形鏡不存在磁滯效應(yīng),形變重復(fù)性較好。 根據(jù)控制電壓和形變之間的定量關(guān)系,可以實現(xiàn)鏡面形變的高精度控制,可用于前饋控制系統(tǒng)(無反饋控制)。 電功耗: 由于薄膜變形鏡僅靠靜電吸引產(chǎn)生形變,驅(qū)動電流極小,因此雖然驅(qū)動電壓達到上百伏,但消耗的電功率較低。 實驗中曾測量到40通道的MMDM在工作模式下功耗不超過1W。
壓電陶瓷變形鏡(PDM)
應(yīng)用包括光學(xué)像差的動態(tài)校正在高功率激光,天文和成像系統(tǒng)。 37(19)個壓電支柱驅(qū)動器 反射鏡面涂覆AI層 驅(qū)動器最大電壓400V 初始鏡面值RMS<0.9μm 用于低階光學(xué)像差的快速動態(tài)校正
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